晶圆盒输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720244849.2

申请日：

2017-03-14

公开(公告)号：

CN206711877U

公开(公告)日：

2017-12-05

发明(设计)人：

吴功

申请人：

申请人地址：

201100 上海市闵行区万芳路555号1号楼202室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270

代理人：

张维东;宋力

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒输送装置 [P].

吴功 .

中国专利 :CN106876312A ,2017-06-20

[2]

晶圆输送盒 [P].

孙明 ;

赵俊深 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201298544Y ,2009-08-26

[3]

晶圆输送盒 [P].

许俊 ;

顾玲英 .

中国专利 :CN201112363Y ,2008-09-10

[4]

晶圆输送盒 [P].

霍栋 ;

侯大维 ;

钱洪涛 ;

杨洪春 ;

吕秋玲 .

中国专利 :CN201142319Y ,2008-10-29

[5]

晶圆盒输送装载系统 [P].

吴功 .

中国专利 :CN206711878U ,2017-12-05

[6]

晶圆盒的输送装置 [P].

蒋孝恩 ;

张宁娜 ;

吴挺 ;

朱蓉 ;

陈定操 .

中国专利 :CN217983295U ,2022-12-06

[7]

晶圆输送装置 [P].

林明峣 .

中国专利 :CN208014665U ,2018-10-26

[8]

晶圆输送盒开合盖装置 [P].

梁猛 ;

赵凯 ;

林海涛 ;

李彬 ;

邵迪 .

中国专利 :CN216773203U ,2022-06-17

[9]

一种晶圆盒自动输送装置 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN215247638U ,2021-12-21

[10]

晶圆的输送装置 [P].

王剑 ;

董兵超 ;

许振杰 ;

姚宇 ;

尹士龙 ;

崔凯 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN208120095U ,2018-11-20

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