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晶圆盒输送装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710149815.X
申请日：
2017-03-14
公开(公告)号：
CN106876312A
公开(公告)日：
2017-06-20
发明(设计)人：
吴功
申请人：
申请人地址：
201114 上海市闵行区苏召路1628号2幢1034室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270
代理人：
张维东;宋力
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-20 | 公开 | 公开 |
| 2017-07-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101734201043 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:201710149815X 申请日:20170314 |
| 2017-12-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20171211 变更事项:申请人 变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司 变更后权利人:上海大族富创得科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201114 上海市闵行区苏召路1628号2幢1034室 变更后权利人:201100 上海市闵行区万芳路555号1号楼202室 |