一种晶圆盒自动输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121263108.1

申请日：

2021-06-07

公开(公告)号：

CN215247638U

公开(公告)日：

2021-12-21

发明(设计)人：

周志刚王静强徐福兴黄锡钦陈亮

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

IPC主分类号：

B65G3500

IPC分类号：

B65G4774 B65G4791

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒输送装置 [P].

吴功 .

中国专利 :CN206711877U ,2017-12-05

[2]

晶圆盒输送装置 [P].

吴功 .

中国专利 :CN106876312A ,2017-06-20

[3]

晶圆输送盒 [P].

孙明 ;

赵俊深 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201298544Y ,2009-08-26

[4]

晶圆输送盒 [P].

许俊 ;

顾玲英 .

中国专利 :CN201112363Y ,2008-09-10

[5]

晶圆输送盒 [P].

霍栋 ;

侯大维 ;

钱洪涛 ;

杨洪春 ;

吕秋玲 .

中国专利 :CN201142319Y ,2008-10-29

[6]

一种晶圆输送盒 [P].

郑雅文 ;

马瑾怡 ;

马笃林 ;

王晓韬 .

中国专利 :CN201489023U ,2010-05-26

[7]

一种晶圆输送装置 [P].

程胜 ;

张建伟 ;

徐东冬 .

中国专利 :CN221427693U ,2024-07-26

[8]

晶圆盒输送装载系统 [P].

吴功 .

中国专利 :CN206711878U ,2017-12-05

[9]

一种晶圆输送盒整理装置 [P].

丁波 ;

谷卫东 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

张伟 ;

智朋 ;

赵栋栋 .

中国专利 :CN119133052A ,2024-12-13

[10]

晶圆盒的输送装置 [P].

蒋孝恩 ;

张宁娜 ;

吴挺 ;

朱蓉 ;

陈定操 .

中国专利 :CN217983295U ,2022-12-06

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