一种晶圆输送盒整理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411275922.3

申请日：

2024-09-12

公开(公告)号：

CN119133052A

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

丁波谷卫东李轶陈瀚杭海燕侯金松黄振亚康夏雷魏方超张伟智朋赵栋栋

申请人：

上海微世半导体有限公司

申请人地址：

201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

B65G1/04 B65G1/137

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

张坚

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	公开	公开
2024-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240912

共 50 条

[1]

一种晶圆盒自动输送装置 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN215247638U ,2021-12-21

[2]

一种晶圆输送装置 [P].

程胜 ;

张建伟 ;

徐东冬 .

中国专利 :CN221427693U ,2024-07-26

[3]

一种晶圆平边整列装置 [P].

丁波 ;

黄振亚 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

张伟 ;

智朋 ;

赵栋栋 .

中国专利 :CN223117453U ,2025-07-18

[4]

一种晶圆盒、晶圆存放方法及取晶圆方法 [P].

曾虹钧 ;

赵海洋 ;

乔亮波 ;

白霞 .

中国专利 :CN118280890A ,2024-07-02

[5]

一种晶圆盒夹具 [P].

刘大庆 ;

朱跃 ;

石益强 ;

李晖 ;

王智 .

中国专利 :CN220796705U ,2024-04-16

[6]

一种能够倾斜放置晶圆片的晶圆盒 [P].

杨珮艺 ;

侯盼凯 ;

焦伟宏 .

中国专利 :CN218069801U ,2022-12-16

[7]

晶圆料盒 [P].

黄微 .

中国专利 :CN223624949U ,2025-12-02

[8]

晶圆料盒搬运装置 [P].

袁林航 ;

郑忠斌 ;

李韩军 ;

冯源 ;

方剑锋 .

中国专利 :CN220934038U ,2024-05-10

[9]

一种晶圆盒自动开盒送料装置 [P].

张凯 .

中国专利 :CN112599461A ,2021-04-02

[10]

一种晶圆盒自动开盒送料装置 [P].

张凯 .

中国专利 :CN213601849U ,2021-07-02

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