一种晶圆平边整列装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422234665.0

申请日：

2024-09-12

公开(公告)号：

CN223117453U

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

丁波黄振亚李轶陈瀚谷卫东杭海燕侯金松康夏雷魏方超张伟智朋赵栋栋

申请人：

上海微世半导体有限公司

申请人地址：

201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号

IPC主分类号：

B65G47/26

IPC分类号：

B65G47/248 B65G47/74 B65G47/90 B65G25/02 B65G15/32 H01L21/67 H01L21/68

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

张坚

法律状态：

专利权质押登记、变更及注销

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	专利权质押登记、变更及注销	专利权质押登记IPC(主分类):B65G 47/26登记号:Y2025980040107登记日:20250922出质人:上海微世半导体有限公司质权人:中国工商银行股份有限公司上海市奉贤支行实用新型名称:一种晶圆平边整列装置申请日:20240912授权公告日:20250718
2025-07-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆平边识别纠偏装置 [P].

陈朝星 .

中国专利 :CN209104119U ,2019-07-12

[2]

晶圆平边对齐装置 [P].

傅林坚 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

鲁冲昊 ;

陈聪 ;

张继武 .

中国专利 :CN220731482U ,2024-04-05

[3]

一种晶圆平边寻边对准装置 [P].

罗昱 ;

刘剑荣 ;

钟伟 ;

刘颖 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220358064U ,2024-01-16

[4]

一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置 [P].

蔡敏 .

中国专利 :CN215008141U ,2021-12-03

[5]

一种晶圆寻边装置 [P].

吴功 ;

国建花 .

中国专利 :CN216288354U ,2022-04-12

[6]

一种光刻机的晶圆平边预定位装置 [P].

唐阳明 .

中国专利 :CN210428090U ,2020-04-28

[7]

晶圆找平边装置 [P].

王恒 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN222801779U ,2025-04-25

[8]

一种晶圆平边寻边装置和光刻机 [P].

李华 ;

王晓军 .

中国专利 :CN213122599U ,2021-05-04

[9]

一种兼容多尺寸平边晶圆定位的晶圆吸盘 [P].

李明瑞 .

中国专利 :CN220672555U ,2024-03-26

[10]

一种晶圆输送盒整理装置 [P].

丁波 ;

谷卫东 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

张伟 ;

智朋 ;

赵栋栋 .

中国专利 :CN119133052A ,2024-12-13

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