一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120918208.7

申请日：

2021-04-29

公开(公告)号：

CN215008141U

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

蔡敏

申请人：

申请人地址：

362100 福建省泉州市惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

泉州市文华专利代理有限公司 35205

代理人：

陈云川

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆去边设备及去边晶圆 [P].

郭茂峰 ;

熊展 ;

江善波 ;

陶胜 ;

李士涛 ;

马新刚 ;

毕京锋 .

中国专利 :CN215771081U ,2022-02-08

[2]

晶圆去边设备 [P].

邢程 ;

孙鹏 .

中国专利 :CN215702351U ,2022-02-01

[3]

晶圆平边对齐装置 [P].

傅林坚 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

鲁冲昊 ;

陈聪 ;

张继武 .

中国专利 :CN220731482U ,2024-04-05

[4]

一种晶圆平边寻边对准装置 [P].

罗昱 ;

刘剑荣 ;

钟伟 ;

刘颖 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220358064U ,2024-01-16

[5]

一种晶圆去边装置 [P].

汤为 ;

孙效中 ;

李江华 .

中国专利 :CN207233704U ,2018-04-13

[6]

晶圆平边识别纠偏装置 [P].

陈朝星 .

中国专利 :CN209104119U ,2019-07-12

[7]

晶圆晶边清洗装置 [P].

邢磊 .

中国专利 :CN208806225U ,2019-04-30

[8]

一种晶圆洗边系统和晶圆洗边方法 [P].

吴健健 ;

徐萍 .

中国专利 :CN109669321A ,2019-04-23

[9]

一种晶圆平边整列装置 [P].

丁波 ;

黄振亚 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

张伟 ;

智朋 ;

赵栋栋 .

中国专利 :CN223117453U ,2025-07-18

[10]

一种晶圆平边寻边装置和光刻机 [P].

李华 ;

王晓军 .

中国专利 :CN213122599U ,2021-05-04

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