晶圆晶边清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821488289.6

申请日：

2018-09-12

公开(公告)号：

CN208806225U

公开(公告)日：

2019-04-30

发明(设计)人：

邢磊

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

佟婷婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆晶边清洗装置及晶圆晶边清洗方法 [P].

邢磊 .

中国专利 :CN110896021A ,2020-03-20

[2]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203955646U ,2014-11-26

[3]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

李广宁 .

中国专利 :CN203886856U ,2014-10-22

[4]

晶圆清洗装置 [P].

王晖 ;

张晓燕 ;

吴均 ;

陈福平 ;

李学军 .

中国专利 :CN203250724U ,2013-10-23

[5]

晶圆晶边清洗装置及方法、涂布设备 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

金成昱 ;

梁贤石 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114675493A ,2022-06-28

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[8]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[10]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

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