晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420381228.5

申请日：

2014-07-10

公开(公告)号：

CN203955646U

公开(公告)日：

2014-11-26

发明(设计)人：

唐强马智勇

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B08B704

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	授权	授权
2020-06-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 7/04 申请日:20140710 授权公告日:20141126 终止日期:20190710

共 50 条

[1]

晶圆背面清洗装置 [P].

郝静安 ;

舒强 ;

邢滨 .

中国专利 :CN203774251U ,2014-08-13

[2]

晶圆边缘清洗装置 [P].

云巴图 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496837U ,2019-10-15

[3]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[4]

晶圆清洗装置 [P].

陈嘉勇 ;

郑志成 ;

苏财宝 ;

林士闵 .

中国专利 :CN216631781U ,2022-05-31

[5]

晶圆清洗装置 [P].

苏晓平 ;

江彤 .

中国专利 :CN201369318Y ,2009-12-23

[6]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

李广宁 .

中国专利 :CN203886856U ,2014-10-22

[7]

晶圆清洗装置 [P].

陈志鹏 ;

高盼盼 ;

覃源 .

中国专利 :CN221311595U ,2024-07-12

[8]

晶圆清洗装置 [P].

朱小凡 ;

赵黎 .

中国专利 :CN109411393A ,2019-03-01

[9]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[10]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

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