一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320474241.0

申请日：

2013-08-05

公开(公告)号：

CN203620984U

公开(公告)日：

2014-06-04

发明(设计)人：

唐强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B08B104

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 1/04 申请日:20130805 授权公告日:20140604 终止日期:20190805
2014-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

[2]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213781994U ,2021-07-23

[3]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202443959U ,2012-09-19

[4]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[5]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[8]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN102755980A ,2012-10-31

[10]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

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