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晶圆输送系统

被引：0
申请号：
CN202222685519.0
申请日：
2022-10-12
公开(公告)号：
CN218385154U
公开(公告)日：
2023-01-24
发明(设计)人：
邓群 杨光 张秦洪 曹子豪
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-24 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P]. 
谷泓毅 ;
陈顺利 ;
赵波 ;
张笑笑 .
中国专利 :CN223193774U ,2025-08-05
[2]
晶圆盒输送装载系统 [P]. 
吴功 .
中国专利 :CN206711878U ,2017-12-05
[3]
晶圆盒输送装载系统 [P]. 
吴功 .
中国专利 :CN107068604A ,2017-08-18
[4]
晶圆输送装置 [P]. 
杜马峰 .
中国专利 :CN114256129A ,2022-03-29
[5]
晶圆输送装置 [P]. 
王燚 ;
刘亿军 .
中国专利 :CN204927255U ,2015-12-30
[6]
晶圆输送装置 [P]. 
林明峣 .
中国专利 :CN208014665U ,2018-10-26
[7]
晶圆状物件的输送系统 [P]. 
高浩 .
中国专利 :CN102502253A ,2012-06-20
[8]
晶圆状物件的输送系统 [P]. 
高浩 .
中国专利 :CN202363437U ,2012-08-01
[9]
晶圆盒输送装置 [P]. 
吴功 .
中国专利 :CN106876312A ,2017-06-20
[10]
晶圆盒输送装置 [P]. 
吴功 .
中国专利 :CN206711877U ,2017-12-05
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