晶圆输送系统

被引：0

申请号：

CN202222685519.0

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN218385154U

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

邓群杨光张秦洪曹子豪

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[41]

一种圆晶检测输送装置 [P].

张俊 ;

李凤丽 .

中国专利 :CN222705482U ,2025-04-01

[42]

用于晶圆硅片的伸缩输送装置 [P].

杨宣教 .

中国专利 :CN110010538A ,2019-07-12

[43]

方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置 [P].

陈文杰 ;

曲东升 ;

李寒冰 ;

沈臻 ;

王江坤 ;

李长峰 ;

周典虬 ;

林翔 .

中国专利 :CN119943730B ,2025-07-25

[44]

方型面板晶圆搬运输送方法及其输送装置 [P].

陈文杰 ;

曲东升 ;

李寒冰 ;

沈臻 ;

王江坤 ;

李长峰 ;

周典虬 ;

林翔 .

中国专利 :CN119943730A ,2025-05-06

[45]

一种晶圆夹持装置、输送系统及其应用方法 [P].

肖真方 ;

王青松 .

中国专利 :CN120674378A ,2025-09-19

[46]

一种晶圆检测用输送装置 [P].

吴龙军 .

中国专利 :CN212659509U ,2021-03-05

[47]

一种晶圆盒自动输送装置 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN215247638U ,2021-12-21

[48]

一种晶圆盒中转输送装置及中转输送方法 [P].

卢证凯 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN112736003A ,2021-04-30

[49]

一种晶圆生产输送机构 [P].

李春财 ;

张永胜 .

中国专利 :CN221805482U ,2024-10-01

[50]

用于输送晶圆状物件的装置及方法 [P].

克里斯蒂安·普奇 .

中国专利 :CN100369185C ,2005-12-07

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