晶圆状物件的输送系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120462496.6

申请日：

2011-11-18

公开(公告)号：

CN202363437U

公开(公告)日：

2012-08-01

发明(设计)人：

高浩

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20111118 授权公告日:20120801
2012-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆状物件的输送系统 [P].

高浩 .

中国专利 :CN102502253A ,2012-06-20

[2]

用于输送晶圆状物件的装置及方法 [P].

克里斯蒂安·普奇 .

中国专利 :CN100369185C ,2005-12-07

[3]

晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P].

谷泓毅 ;

陈顺利 ;

赵波 ;

张笑笑 .

中国专利 :CN223193774U ,2025-08-05

[4]

半导体晶圆运送系统 [P].

赵宏宇 ;

吴仪 .

中国专利 :CN202296364U ,2012-07-04

[5]

一种运送晶圆状物件的装置 [P].

赵宏宇 .

中国专利 :CN202363431U ,2012-08-01

[6]

半导体晶圆运送系统 [P].

赵宏宇 ;

吴仪 .

中国专利 :CN102332418A ,2012-01-25

[7]

半导体晶圆制造装置 [P].

赵宏宇 ;

张晓红 ;

裴立坤 ;

张豹 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN202423239U ,2012-09-05

[8]

晶圆输送系统 [P].

邓群 ;

杨光 ;

张秦洪 ;

曹子豪 .

中国专利 :CN218385154U ,2023-01-24

[9]

晶圆输送盒 [P].

许俊 ;

顾玲英 .

中国专利 :CN201112363Y ,2008-09-10

[10]

晶圆输送盒 [P].

霍栋 ;

侯大维 ;

钱洪涛 ;

杨洪春 ;

吕秋玲 .

中国专利 :CN201142319Y ,2008-10-29

← 1 2 3 4 5 →