一种晶圆生产输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421466207.3

申请日：

2024-06-25

公开(公告)号：

CN222720374U

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

高洁钱长沛

申请人：

无锡君捷电子科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区泰山路2号B楼J1室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825

代理人：

韩蓉蓉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆输送装置 [P].

程胜 ;

张建伟 ;

徐东冬 .

中国专利 :CN221427693U ,2024-07-26

[2]

晶圆输送装置 [P].

林明峣 .

中国专利 :CN208014665U ,2018-10-26

[3]

一种圆晶检测输送装置 [P].

笪晨 ;

罗墉 ;

罗文进 ;

张玉恒 .

中国专利 :CN220290772U ,2024-01-02

[4]

一种晶圆生产输送机构 [P].

李春财 ;

张永胜 .

中国专利 :CN221805482U ,2024-10-01

[5]

晶圆盒输送装置 [P].

吴功 .

中国专利 :CN206711877U ,2017-12-05

[6]

晶圆的输送装置 [P].

王剑 ;

董兵超 ;

许振杰 ;

姚宇 ;

尹士龙 ;

崔凯 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN208120095U ,2018-11-20

[7]

一种晶圆检测用输送装置 [P].

吴龙军 .

中国专利 :CN212659509U ,2021-03-05

[8]

一种晶圆盒自动输送装置 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN215247638U ,2021-12-21

[9]

一种晶圆输送装置 [P].

王阳 ;

魏猛 ;

张佳男 .

中国专利 :CN121096945A ,2025-12-09

[10]

一种晶圆输送装置 [P].

曹承育 ;

张志平 .

中国专利 :CN108074847A ,2018-05-25

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