嵌入式PECVD载片器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120425579.8

申请日：

2011-10-31

公开(公告)号：

CN202297766U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

尤耀明代宁李文虎

申请人：

申请人地址：

214092 江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20111031 授权公告日:20120704 终止日期:20171031
2012-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

嵌入式PECVD载片器 [P].

尤耀明 ;

代宁 ;

李文虎 .

中国专利 :CN102392227A ,2012-03-28

[2]

超薄嵌入式电池片传输机构 [P].

王骏明 ;

陈鹏 ;

魏帮范 .

中国专利 :CN207009421U ,2018-02-13

[3]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451618U ,2014-02-26

[4]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451617U ,2014-02-26

[5]

嵌入式翅片蒸发器 [P].

朱金达 ;

贾影 ;

李炳涛 .

中国专利 :CN210569382U ,2020-05-19

[6]

嵌入式翅片冷凝器 [P].

陈琼 ;

刘明星 .

中国专利 :CN201706806U ,2011-01-12

[7]

嵌入式翅片蒸发器 [P].

许晓东 .

中国专利 :CN223307121U ,2025-09-05

[8]

PECVD用硅片载片器的挂钩 [P].

尤耀明 .

中国专利 :CN201473588U ,2010-05-19

[9]

嵌入式上水器 [P].

程胜远 ;

黄艺清 .

中国专利 :CN209300823U ,2019-08-27

[10]

嵌入式对流器 [P].

杨瑞丽 ;

谢东 .

中国专利 :CN209131109U ,2019-07-19

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