拼接式PECVD载板导轨

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320578636.5

申请日：

2013-09-17

公开(公告)号：

CN203451618U

公开(公告)日：

2014-02-26

发明(设计)人：

尤耀明龚建新

申请人：

申请人地址：

214092 江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号

IPC主分类号：

C23C1654

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-26	授权	授权
2017-11-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/54 申请日:20130917 授权公告日:20140226 终止日期:20160917

共 50 条

[1]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103469175A ,2013-12-25

[2]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451617U ,2014-02-26

[3]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103484838A ,2014-01-01

[4]

PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

代宁 .

中国专利 :CN202688434U ,2013-01-23

[5]

PECVD载板转换装置 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451616U ,2014-02-26

[6]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[7]

PECVD镀膜载板 [P].

毛卫平 ;

张杜超 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

黄强 .

中国专利 :CN215856320U ,2022-02-18

[8]

嵌入式PECVD载片器 [P].

尤耀明 ;

代宁 ;

李文虎 .

中国专利 :CN202297766U ,2012-07-04

[9]

PECVD载板转换装置 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103469176A ,2013-12-25

[10]

板式PECVD加热载板 [P].

姚骞 ;

林大成 ;

王虎 ;

胡嫚 .

中国专利 :CN202688446U ,2013-01-23

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