焊接式PECVD载板导轨

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310430742.3

申请日：

2013-09-18

公开(公告)号：

CN103484838A

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

尤耀明龚建新

申请人：

申请人地址：

214092 江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-01	公开	公开
2017-02-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101746123321 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2013104307423 申请公布日:20140101
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567145062 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2013104307423 申请日:20130918

共 50 条

[1]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451617U ,2014-02-26

[2]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451618U ,2014-02-26

[3]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103469175A ,2013-12-25

[4]

PECVD载板转换装置 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451616U ,2014-02-26

[5]

PECVD载板转换装置 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103469176A ,2013-12-25

[6]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[7]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[8]

嵌入式PECVD载片器 [P].

尤耀明 ;

代宁 ;

李文虎 .

中国专利 :CN102392227A ,2012-03-28

[9]

嵌入式PECVD载片器 [P].

尤耀明 ;

代宁 ;

李文虎 .

中国专利 :CN202297766U ,2012-07-04

[10]

一种新型PECVD上镀膜载板 [P].

武同乐 ;

张金伟 ;

陈哲 .

中国专利 :CN203820885U ,2014-09-10

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