PECVD载板转换装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310425053.3

申请日：

2013-09-17

公开(公告)号：

CN103469176A

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

尤耀明龚建新

申请人：

申请人地址：

214092 江苏省无锡市滨湖区马山碧波支路8号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-25	公开	公开
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564934383 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2013104250533 申请日:20130917
2015-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

PECVD载板转换装置 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451616U ,2014-02-26

[2]

PECVD用硅片载片器的转换装置 [P].

尤耀明 .

中国专利 :CN201495286U ,2010-06-02

[3]

PECVD用硅片载片器的转换装置 [P].

尤耀明 .

中国专利 :CN101629282B ,2010-01-20

[4]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451617U ,2014-02-26

[5]

焊接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103484838A ,2014-01-01

[6]

窗载式光电转换装置 [P].

李方 .

中国专利 :CN105539330A ,2016-05-04

[7]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451618U ,2014-02-26

[8]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN103469175A ,2013-12-25

[9]

载具快速转换装置 [P].

贺艳超 ;

李海光 .

中国专利 :CN307149531S ,2022-03-08

[10]

载具拆分转换装置 [P].

朱陈双 .

中国专利 :CN212470443U ,2021-02-05

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