一种膜厚量测设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720917264.2

申请日：

2017-07-26

公开(公告)号：

CN206919845U

公开(公告)日：

2018-01-23

发明(设计)人：

赵敏敏杨档朱刚魏少琦

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

孟潭

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种膜厚量测设备 [P].

王朝辉 ;

徐康 ;

阚保国 ;

陈伏宏 .

中国专利 :CN222812350U ,2025-04-29

[2]

膜厚量测方法及微波量测设备 [P].

邓拔龙 ;

范光城 .

中国专利 :CN100416222C ,2005-01-19

[3]

一种晶圆外延膜厚量测设备 [P].

周益初 ;

卢利军 ;

周亭成 ;

任杰 .

中国专利 :CN119164293A ,2024-12-20

[4]

一种量测设备 [P].

张飞 .

中国专利 :CN214750775U ,2021-11-16

[5]

一种量测设备 [P].

王朝辉 ;

阚保国 ;

徐康 ;

陈伏宏 .

中国专利 :CN223390491U ,2025-09-26

[6]

一种用于载板的量测机构及其量测设备 [P].

黄庆云 .

中国专利 :CN220356312U ,2024-01-16

[7]

一种量测设备 [P].

赖甘桔 .

中国专利 :CN223122242U ,2025-07-18

[8]

一种用于光学膜厚量测设备的匹配方法 [P].

叶俊杰 ;

赵礼 .

中国专利 :CN117423634A ,2024-01-19

[9]

一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置 [P].

黄汇丰 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204081838U ,2015-01-07

[10]

一种光学镜片边厚差快速量测设备 [P].

陈健兵 ;

周琪 ;

张小明 ;

贾增华 ;

戴志强 .

中国专利 :CN207779371U ,2018-08-28

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