一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN202011355645.9
申请日
2020-11-27
公开(公告)号
CN112575310A
公开(公告)日
2021-03-30
发明(设计)人
胡宝山 蔡霞 金燕
申请人
申请人地址
400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
IPC主分类号
C23C1626
IPC分类号
C01B32186 C23C1602
代理机构
重庆缙云专利代理事务所(特殊普通合伙) 50237
代理人
王翔
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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