一种针对KrF光刻剥离工艺的双层胶剥离方法

被引：0

申请号：

CN202211183990.8

申请日：

2022-09-27

公开(公告)号：

CN115542687A

公开(公告)日：

2022-12-30

发明(设计)人：

段英丽于海洋孟腾飞吴兵袁燕张倩冯志博倪烨王君时鹏程

申请人：

申请人地址：

100854 北京市海淀区永定路50号

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

G03F716 G03F730 G03F732

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

厉洋洋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	公开	公开
2023-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20220927

共 50 条

[1]

一种用于剥离的双层胶光刻工艺方法 [P].

万文坚 ;

曹俊诚 ;

黎华 .

中国专利 :CN119247710A ,2025-01-03

[2]

一种声表面波滤波器应用泛曝光的双层胶剥离工艺 [P].

刘绍侃 ;

张少华 ;

李善斌 ;

蒋燕港 .

中国专利 :CN108037637A ,2018-05-15

[3]

一种光刻胶的剥离装置及剥离方法 [P].

王其辉 ;

于凯 ;

白忠飞 ;

李伟 ;

宋泳珍 ;

董志学 ;

郑云亮 ;

寇克瑜 ;

徐国军 .

中国专利 :CN103913959A ,2014-07-09

[4]

一种光刻胶剥离系统及光刻胶剥离方法 [P].

郭昭 ;

李炳天 ;

王振 ;

邓治国 ;

任志明 ;

晏熙 ;

黄超 ;

刘杰 ;

郭荣波 ;

李显杰 .

中国专利 :CN111142342A ,2020-05-12

[5]

光刻胶剥离剂组合物和用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法 [P].

韩熙 ;

朴珉春 ;

金璟晙 ;

徐圣佑 ;

权赫俊 ;

安庆昊 ;

崔棅圭 ;

闵盛晙 ;

黄智泳 .

中国专利 :CN101454872B ,2009-06-10

[6]

一种水平式光刻胶剥离工艺 [P].

卢晶晶 .

中国专利 :CN114924468A ,2022-08-19

[7]

一种光刻胶图形化方法及双层光刻胶剥离方法 [P].

李天慧 ;

赵珂 ;

梁慧 ;

于星 ;

张振振 .

中国专利 :CN113075868A ,2021-07-06

[8]

一种光刻胶图形化方法及双层光刻胶剥离方法 [P].

李天慧 ;

赵珂 ;

梁慧 ;

于星 ;

张振振 .

中国专利 :CN113075868B ,2024-07-02

[9]

光刻胶剥离设备及其剥离方法 [P].

孟祥国 ;

李全波 ;

陆连 .

中国专利 :CN109254506A ,2019-01-22

[10]

光刻胶剥离方法 [P].

陆王佳 ;

翁赵怡 ;

陆晨鑫 ;

甘立云 ;

曹佳辉 ;

朱毅 ;

郑万钧 ;

朱一彬 .

中国专利 :CN119340202A ,2025-01-21

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