一种SAW器件的腐蚀工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310500278.0

申请日：

2013-10-23

公开(公告)号：

CN103532510B

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

吴长春陆锋周一峰张锡娟

申请人：

申请人地址：

214035 江苏省无锡市滨湖区惠和路5号208信箱

IPC主分类号：

H03H308

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104

代理人：

殷红梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	授权	授权
2014-01-22	公开	公开
2014-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573737040 IPC(主分类):H03H 3/08 专利申请号:2013105002780 申请日:20131023

共 50 条

[1]

一种采用湿法腐蚀工艺制作MEMS器件的方法 [P].

姚嫦娲 ;

肖慧敏 .

中国专利 :CN106783577A ,2017-05-31

[2]

一种低碳中锰钢原奥氏体晶界的高效高清腐蚀工艺 [P].

孙晓云 ;

段园培 ;

任衍聪 ;

杜昱锦 .

中国专利 :CN121090212A ,2025-12-09

[3]

一种可去除腐蚀黑印的硅片腐蚀工艺 [P].

陈海滨 .

中国专利 :CN101717940A ,2010-06-02

[4]

一种用于腐蚀工艺监控的表征器件 [P].

李燕妃 ;

谢儒彬 ;

乔明 ;

张波 .

中国专利 :CN119275214A ,2025-01-07

[5]

一种用于腐蚀工艺监控的表征器件 [P].

李燕妃 ;

谢儒彬 ;

乔明 ;

张波 .

中国专利 :CN119275214B ,2025-02-25

[6]

一种新的腐蚀工艺 [P].

王红亚 .

中国专利 :CN103794681A ,2014-05-14

[7]

一种用于硅片酸腐蚀的工艺方法 [P].

缪燃 .

中国专利 :CN121054480A ,2025-12-02

[8]

一种顶层是金属镍的腐蚀工艺 [P].

唐红梅 ;

孙培 ;

王毅 .

中国专利 :CN115206799B ,2025-12-02

[9]

一种通过碱腐蚀改善硅片腐蚀表面外观的加工工艺 [P].

张俊生 ;

刘沛然 ;

齐钊 ;

刘博 ;

李晓东 .

中国专利 :CN103021832A ,2013-04-03

[10]

一种半导体的腐蚀方法 [P].

龙命潮 .

中国专利 :CN111370307A ,2020-07-03

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