一种旋转横向磁场耦合轴向磁场辅助电弧离子镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310632153.3

申请日：

2013-11-28

公开(公告)号：

CN103643213A

公开(公告)日：

2014-03-19

发明(设计)人：

赵彦辉肖金泉于宝海

申请人：

申请人地址：

110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

沈阳优普达知识产权代理事务所 21234

代理人：

张志伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581479825 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2013106321533 申请日:20131128
2016-03-30	授权	授权
2014-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种旋转横向磁场耦合轴向磁场辅助电弧离子镀装置 [P].

赵彦辉 ;

肖金泉 ;

于宝海 .

中国专利 :CN203569181U ,2014-04-30

[2]

耦合磁场辅助电弧离子镀沉积装置 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

杨英 ;

赵彦辉 ;

杜昊 ;

闻立时 .

中国专利 :CN201158701Y ,2008-12-03

[3]

PLC可控的旋转横向磁场辅助电弧离子镀设备 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

赵彦辉 ;

杨英 ;

华伟刚 ;

闻立时 .

中国专利 :CN201162038Y ,2008-12-10

[4]

一种靶材旋转与磁场耦合的电弧离子镀装置 [P].

马延文 .

中国专利 :CN120443118A ,2025-08-08

[5]

一种磁场增强电弧离子镀沉积工艺 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

杜昊 ;

赵彦辉 ;

闻立时 .

中国专利 :CN101363114B ,2009-02-11

[6]

多模式可编程调制的旋转横向磁场控制的电弧离子镀装置 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

赵彦辉 ;

闻立时 .

中国专利 :CN101363116B ,2009-02-11

[7]

一种磁控电弧离子镀复合沉积装置 [P].

赵彦辉 ;

肖金泉 ;

于宝海 ;

华伟刚 ;

宫骏 ;

孙超 .

中国专利 :CN203498466U ,2014-03-26

[8]

一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源 [P].

潘家敬 ;

路海涛 .

中国专利 :CN114086127A ,2022-02-25

[9]

多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压直管装置 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

侯军兴 ;

刘源 ;

刘学申 ;

蒋志强 ;

符寒光 .

中国专利 :CN206069994U ,2017-04-05

[10]

多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压锥形管装置 [P].

魏永强 ;

宗晓亚 ;

侯军兴 ;

张华阳 ;

刘源 ;

刘学申 ;

蒋志强 ;

冯宪章 .

中国专利 :CN206553622U ,2017-10-13

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