调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811583111.4

申请日：

2018-12-24

公开(公告)号：

CN111352304B

公开(公告)日：

2020-06-30

发明(设计)人：

毛静超徐荣伟庄亚政孙建超季桂林李淑蓉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	授权	授权
2020-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181224
2020-06-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种调焦调平装置、调焦调平方法及光刻设备 [P].

王晓庆 ;

王海江 ;

庄亚政 .

中国专利 :CN110376846A ,2019-10-25

[2]

一种调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN110501878B ,2019-11-26

[3]

调焦调平系统、调焦调平方法及光刻设备 [P].

张雨 ;

彭俊 ;

王晓庆 ;

邢奕飞 .

中国专利 :CN118276423A ,2024-07-02

[4]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

张冲 .

中国专利 :CN103365103A ,2013-10-23

[5]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

陆侃 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN103838088B ,2014-06-04

[6]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

吴卫军 ;

陈飞彪 ;

李欣欣 .

中国专利 :CN106647174A ,2017-05-10

[7]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542672A ,2022-12-30

[8]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[9]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674B ,2025-08-26

[10]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674A ,2022-12-30

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