一种调焦调平装置及调焦调平方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210101739.2

申请日：

2012-04-10

公开(公告)号：

CN103365103A

公开(公告)日：

2013-10-23

发明(设计)人：

卢丽荣李志丹张冲

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101541976067 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012101017392 申请日:20120410
2015-09-30	授权	授权
2017-12-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2013-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[2]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

陆侃 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN103838088B ,2014-06-04

[3]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

吴卫军 ;

陈飞彪 ;

李欣欣 .

中国专利 :CN106647174A ,2017-05-10

[4]

一种调焦调平装置、调焦调平方法及光刻设备 [P].

王晓庆 ;

王海江 ;

庄亚政 .

中国专利 :CN110376846A ,2019-10-25

[5]

一种调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

庄亚政 .

中国专利 :CN110501878B ,2019-11-26

[6]

一种测量范围可扩展的调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

潘炼东 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

张冲 .

中国专利 :CN102033438A ,2011-04-27

[7]

调焦调平装置及方法 [P].

唐平玉 .

中国专利 :CN106933071A ,2017-07-07

[8]

调焦调平系统、调焦调平方法及曝光装置 [P].

张雨 ;

邢奕飞 ;

王晓庆 ;

鲁珅 .

中国专利 :CN120447315A ,2025-08-08

[9]

大量程调焦调平装置、方法及调焦调平检测方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119472190A ,2025-02-18

[10]

一种调焦调平装置及方法 [P].

杜聚有 ;

宋海军 .

中国专利 :CN102736428B ,2012-10-17

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