一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510420054.8

申请日：

2015-07-16

公开(公告)号：

CN105067168A

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮

申请人：

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

G01B1122

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司 11203

代理人：

刘萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	公开	公开
2017-10-10	授权	授权
2022-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/24 申请日:20150716 授权公告日:20171010 终止日期:20210716
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637751533 IPC(主分类):G01L 1/24 专利申请号:2015104200548 申请日:20150716

共 50 条

[1]

一种大尺寸磨削晶圆残余应力测试方法 [P].

秦飞 ;

孙敬龙 ;

安彤 ;

王仲康 ;

唐亮 .

中国专利 :CN104075830A ,2014-10-01

[2]

一种磨削表面残余应力预测方法 [P].

林彬 ;

李鸿宇 ;

闫帅 ;

李河林 ;

王杨 .

中国专利 :CN115983098B ,2025-06-27

[3]

一种预测动态磨削表面残余应力的方法 [P].

冯伟 ;

苑鑫宇 ;

孙聪 ;

尚龙 ;

张坤 ;

秦鹏 ;

赫青山 ;

刘宗尧 ;

刘保国 .

中国专利 :CN118747464A ,2024-10-08

[4]

一种发动机叶片表面残余应力测试系统及其方法 [P].

刘博志 ;

李艳明 ;

邱丰 ;

佟文伟 .

中国专利 :CN113358258A ,2021-09-07

[5]

一种光纤环式残余应力测试系统及残余应力测试方法 [P].

徐尧 ;

陶杰 ;

李卓枢 ;

肖盼 ;

田野 ;

张伟斌 ;

张建中 ;

杨占锋 ;

李丽 .

中国专利 :CN110940445B ,2020-03-31

[6]

一种骨表面残余应力分布测试方法 [P].

张勇波 ;

王俊玲 ;

崔轶 ;

黄裕梁 ;

王治华 ;

傅惠民 .

中国专利 :CN108775983A ,2018-11-09

[7]

微机电系统残余应力表面分布测试方法 [P].

熊继军 ;

薛晨阳 ;

张文栋 ;

张斌珍 ;

桑胜波 .

中国专利 :CN1696047A ,2005-11-16

[8]

钢轨残余应力测试方法 [P].

李国 ;

杨贵全 .

中国专利 :CN103234666A ,2013-08-07

[9]

薄板残余应力测试装置及薄板残余应力测试方法 [P].

王军强 ;

黄东男 ;

刘成 ;

徐志强 ;

牛关梅 ;

吴永福 ;

陈丹丹 ;

曹海龙 ;

罗海云 ;

李清 ;

李凯 ;

李伟 ;

李威威 ;

苏晖 .

中国专利 :CN120651410B ,2025-10-28

[10]

薄板残余应力测试装置及薄板残余应力测试方法 [P].

王军强 ;

黄东男 ;

刘成 ;

徐志强 ;

牛关梅 ;

吴永福 ;

陈丹丹 ;

曹海龙 ;

罗海云 ;

李清 ;

李凯 ;

李伟 ;

李威威 ;

苏晖 .

中国专利 :CN120651410A ,2025-09-16

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