微机电系统残余应力表面分布测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510012471.5

申请日：

2005-04-20

公开(公告)号：

CN1696047A

公开(公告)日：

2005-11-16

发明(设计)人：

熊继军薛晨阳张文栋张斌珍桑胜波

申请人：

申请人地址：

030051山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

B81C500

IPC分类号：

G01M702 G01M1900

代理机构：

山西太原科卫专利事务所

代理人：

朱源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-11-16	公开	公开
2007-07-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

一种骨表面残余应力分布测试方法 [P].

张勇波 ;

王俊玲 ;

崔轶 ;

黄裕梁 ;

王治华 ;

傅惠民 .

中国专利 :CN108775983A ,2018-11-09

[2]

微机电系统的动态应力测试方法 [P].

张文栋 ;

熊继军 ;

薛晨阳 ;

张斌珍 ;

桑胜波 .

中国专利 :CN1673723A ,2005-09-28

[3]

一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法 [P].

阮勇 ;

刘倚瑞 ;

马波 ;

尤政 .

中国专利 :CN103207034B ,2013-07-17

[4]

微机械残余应力的测试结构及其测试方法 [P].

廖小平 ;

杨刚 .

中国专利 :CN103196592A ,2013-07-10

[5]

大型轧辊表面的残余应力无损测试方法 [P].

贺强 ;

庞征 .

中国专利 :CN101762616A ,2010-06-30

[6]

钢轨残余应力测试方法 [P].

李国 ;

杨贵全 .

中国专利 :CN103234666A ,2013-08-07

[7]

基于显微压痕法的残余应力分布测试方法 [P].

许周烽 ;

董朝晖 ;

厉峰 ;

王狄军 ;

俞耿华 .

中国专利 :CN113375850A ,2021-09-10

[8]

一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法 [P].

秦飞 ;

孙敬龙 ;

安彤 ;

陈沛 ;

宇慧平 ;

王仲康 ;

唐亮 .

中国专利 :CN105067168A ,2015-11-18

[9]

用于切削残余应力分布测试的电解腐蚀装置和测试系统 [P].

张建富 ;

冯平法 ;

马原 ;

郁鼎文 ;

吴志军 .

中国专利 :CN105699158A ,2016-06-22

[10]

一种实时测试板材内部残余应力分布的方法 [P].

王军强 ;

刘成 ;

曹海龙 ;

牛关梅 .

中国专利 :CN110243516A ,2019-09-17

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