微机电系统的动态应力测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510012466.4

申请日：

2005-04-18

公开(公告)号：

CN1673723A

公开(公告)日：

2005-09-28

发明(设计)人：

张文栋熊继军薛晨阳张斌珍桑胜波

申请人：

申请人地址：

030051山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01N2165

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

山西太原科卫专利事务所

代理人：

朱源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-09-28	公开	公开
2012-06-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101273110015 IPC(主分类):G01N 21/65 专利号:ZL2005100124664 申请日:20050418 授权公告日:20100526 终止日期:20110418
2010-05-26	授权	授权

共 50 条

[1]

微机电系统残余应力表面分布测试方法 [P].

熊继军 ;

薛晨阳 ;

张文栋 ;

张斌珍 ;

桑胜波 .

中国专利 :CN1696047A ,2005-11-16

[2]

用于微机电系统传感器的微机电系统应力集中结构 [P].

李秉纬 .

中国专利 :CN102089638A ,2011-06-08

[3]

微机电系统、用于制造微机电系统的方法 [P].

R·舍本 .

中国专利 :CN114074915A ,2022-02-22

[4]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[5]

微机电系统装置测试系统和方法 [P].

菲利普·卡尔 ;

西尔维娅·卡尔 .

中国专利 :CN108007475A ,2018-05-08

[6]

减小微机电系统上的应力的封装 [P].

J·布雷泽克 ;

约翰·加德纳·布卢姆斯伯 ;

C·阿卡 .

中国专利 :CN103221332B ,2013-07-24

[7]

一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法 [P].

阮勇 ;

刘倚瑞 ;

马波 ;

尤政 .

中国专利 :CN103207034B ,2013-07-17

[8]

微机电系统和用于制造微机电系统的方法 [P].

托马斯·里塞奇 ;

法比安·斯托佩尔 .

中国专利 :CN106062914B ,2016-10-26

[9]

微机电系统装置以及制作微机电系统的方法 [P].

谢聪敏 ;

李建兴 ;

蔡振维 .

中国专利 :CN107986225B ,2018-05-04

[10]

微机电系统装置与微机电系统的封装方法 [P].

林宏桦 ;

刘丙寅 ;

吴常明 ;

彭荣辉 ;

喻中一 .

中国专利 :CN109553065A ,2019-04-02

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