微机电系统和制造微机电系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710109007.0

申请日：

2017-02-27

公开(公告)号：

CN107128868A

公开(公告)日：

2017-09-05

发明(设计)人：

A.德赫

申请人：

申请人地址：

德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

胡莉莉;杜荔南

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101750798739 IPC(主分类):B81B 3/00 专利申请号:2017101090070 申请日:20170227
2017-09-05	公开	公开
2019-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

微机电系统和用于制造微机电系统的方法 [P].

托马斯·里塞奇 ;

法比安·斯托佩尔 .

中国专利 :CN106062914B ,2016-10-26

[2]

微机电系统、用于制造微机电系统的方法 [P].

R·舍本 .

中国专利 :CN114074915A ,2022-02-22

[3]

微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法 [P].

任天令 ;

刘星予 ;

杨轶 ;

颜豪贤 ;

康乔乔 ;

王乾 ;

张彦秀 ;

刘恩峰 .

中国专利 :CN120224098A ,2025-06-27

[4]

微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法 [P].

A·德厄 ;

M·F·赫曼 ;

J·曼兹 .

中国专利 :CN107662900A ,2018-02-06

[5]

微机电系统和制造方法 [P].

杨挺立 ;

吴凯第 ;

郑明达 ;

吕文雄 ;

林政仁 ;

康金玮 .

中国专利 :CN114988345A ,2022-09-02

[6]

微机电系统和制造方法 [P].

杨挺立 ;

吴凯第 ;

郑明达 ;

吕文雄 ;

林政仁 ;

康金玮 .

中国专利 :CN114988345B ,2025-06-27

[7]

微机电系统器件的制造方法以及微机电系统器件 [P].

菅原德起 ;

八十岛健 ;

村本美幸 .

中国专利 :CN109304936A ,2019-02-05

[8]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118414298A ,2024-07-30

[9]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086B ,2025-04-08

[10]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118434669A ,2024-08-02

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