微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510257769.X

申请日：

2025-03-05

公开(公告)号：

CN120224098A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

任天令刘星予杨轶颜豪贤康乔乔王乾张彦秀刘恩峰

申请人：

清华大学北京电子控股有限责任公司

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

H04R31/00

IPC分类号：

H04R19/04

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

纪丽纯

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开
2025-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H04R 31/00申请日:20250305

共 50 条

[1]

微机电系统换能器 [P].

R·E·麦克马伦 ;

R·I·拉明 ;

A·B·特雷纳 ;

T·H·胡克斯特拉 .

中国专利 :CN102056680A ,2011-05-11

[2]

微机电换能器和包括微机电换能器的系统 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 .

中国专利 :CN208736597U ,2019-04-12

[3]

柔性微机电系统换能器的制造方法 [P].

南润宇 ;

李锡汉 .

中国专利 :CN1262470C ,2004-08-04

[4]

微机电换能器 [P].

M·亚巴西加瓦蒂 ;

D·卡尔塔比亚诺 ;

F·布拉格辛 .

中国专利 :CN208847381U ,2019-05-10

[5]

微机电换能器 [P].

M·亚巴西加瓦蒂 ;

D·卡尔塔比亚诺 ;

A·A·波马里科 ;

G·罗塞利 .

中国专利 :CN208672196U ,2019-03-29

[6]

微机电系统换能器和其制造方法 [P].

大村昌良 ;

铃木民人 ;

铃木幸俊 .

中国专利 :CN101468785A ,2009-07-01

[7]

微机电换能器 [P].

黄勇力 .

中国专利 :CN101573861B ,2009-11-04

[8]

微机电换能器 [P].

黄勇力 .

中国专利 :CN101589543A ,2009-11-25

[9]

微机电系统换能器封装结构 [P].

金镐哲 ;

吴志江 .

中国专利 :CN101415139A ,2009-04-22

[10]

微机电系统换能器封装结构 [P].

王凯 .

中国专利 :CN201639775U ,2010-11-17

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