柔性微机电系统换能器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03165013.9

申请日：

2003-09-26

公开(公告)号：

CN1262470C

公开(公告)日：

2004-08-04

发明(设计)人：

南润宇李锡汉

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-09-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20030926 授权公告日:20060705 终止日期:20200926
2004-08-04	公开	公开
2006-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

柔性微机电系统换能器及其制造方法和无线扩音器 [P].

南润宇 ;

李锡汉 .

中国专利 :CN1517296A ,2004-08-04

[2]

微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法 [P].

任天令 ;

刘星予 ;

杨轶 ;

颜豪贤 ;

康乔乔 ;

王乾 ;

张彦秀 ;

刘恩峰 .

中国专利 :CN120224098A ,2025-06-27

[3]

微机电系统换能器和其制造方法 [P].

大村昌良 ;

铃木民人 ;

铃木幸俊 .

中国专利 :CN101468785A ,2009-07-01

[4]

微机电系统换能器 [P].

R·E·麦克马伦 ;

R·I·拉明 ;

A·B·特雷纳 ;

T·H·胡克斯特拉 .

中国专利 :CN102056680A ,2011-05-11

[5]

微机电换能器和包括微机电换能器的系统 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 .

中国专利 :CN208736597U ,2019-04-12

[6]

基于沟槽的微机电换能器及制造该微机电换能器的方法 [P].

M·亚巴西加瓦蒂 ;

D·卡尔塔比亚诺 ;

A·A·波马里科 ;

G·罗塞利 .

中国专利 :CN108793055A ,2018-11-13

[7]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[8]

用于高压的具有薄膜的微机电换能器、其制造方法和包括微机电换能器的系统 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 .

中国专利 :CN109425460B ,2019-03-05

[9]

微机电系统换能器封装结构 [P].

金镐哲 ;

吴志江 .

中国专利 :CN101415139A ,2009-04-22

[10]

微机电系统换能器封装结构 [P].

王凯 .

中国专利 :CN201639775U ,2010-11-17

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