基于沟槽的微机电换能器及制造该微机电换能器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810253119.8

申请日：

2018-03-26

公开(公告)号：

CN108793055A

公开(公告)日：

2018-11-13

发明(设计)人：

M·亚巴西加瓦蒂 D·卡尔塔比亚诺 A·A·波马里科 G·罗塞利

申请人：

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张昊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-13	公开	公开
2018-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20180326

共 50 条

[1]

微机电换能器 [P].

M·亚巴西加瓦蒂 ;

D·卡尔塔比亚诺 ;

A·A·波马里科 ;

G·罗塞利 .

中国专利 :CN208672196U ,2019-03-29

[2]

微机电换能器 [P].

M·亚巴西加瓦蒂 ;

D·卡尔塔比亚诺 ;

F·布拉格辛 .

中国专利 :CN208847381U ,2019-05-10

[3]

微机电换能器和包括微机电换能器的系统 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 .

中国专利 :CN208736597U ,2019-04-12

[4]

微机电换能器 [P].

黄勇力 .

中国专利 :CN101573861B ,2009-11-04

[5]

微机电换能器 [P].

黄勇力 .

中国专利 :CN101589543A ,2009-11-25

[6]

微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法 [P].

任天令 ;

刘星予 ;

杨轶 ;

颜豪贤 ;

康乔乔 ;

王乾 ;

张彦秀 ;

刘恩峰 .

中国专利 :CN120224098A ,2025-06-27

[7]

用于高压的具有薄膜的微机电换能器、其制造方法和包括微机电换能器的系统 [P].

E·杜奇 ;

L·巴尔多 .

中国专利 :CN109425460B ,2019-03-05

[8]

微机电系统换能器 [P].

R·E·麦克马伦 ;

R·I·拉明 ;

A·B·特雷纳 ;

T·H·胡克斯特拉 .

中国专利 :CN102056680A ,2011-05-11

[9]

微机电膜换能器 [P].

D·朱斯蒂 ;

F·夸利亚 .

中国专利 :CN215682159U ,2022-01-28

[10]

具有悬置块的微机电换能器 [P].

R·莫格林 ;

P·C·波斯特 .

中国专利 :CN114501272A ,2022-05-13

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