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微机电系统和制造方法

被引：0
申请号：
CN202110504850.5
申请日：
2021-05-10
公开(公告)号：
CN114988345A
公开(公告)日：
2022-09-02
发明(设计)人：
杨挺立 吴凯第 郑明达 吕文雄 林政仁 康金玮
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
B81C100 B81C300
代理机构：
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409
代理人：
章社杲;李伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-20 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20210510
2022-09-02 公开 公开
共 50 条
[1]
微机电系统和制造方法 [P]. 
杨挺立 ;
吴凯第 ;
郑明达 ;
吕文雄 ;
林政仁 ;
康金玮 .
中国专利 :CN114988345B ,2025-06-27
[2]
微机电系统及其制造方法 [P]. 
吕文雄 ;
郑明达 ;
庄咏涵 ;
吴凯第 ;
刘旭伦 ;
李明机 .
中国专利 :CN113307222B ,2024-05-28
[3]
微机电系统及其制造方法 [P]. 
吕文雄 ;
郑明达 ;
庄咏涵 ;
吴凯第 ;
刘旭伦 ;
李明机 .
中国专利 :CN113307222A ,2021-08-27
[4]
微机电系统和制造微机电系统的方法 [P]. 
A.德赫 .
中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05
[5]
微机电系统和用于制造微机电系统的方法 [P]. 
托马斯·里塞奇 ;
法比安·斯托佩尔 .
中国专利 :CN106062914B ,2016-10-26
[6]
微机电系统及其制造方法 [P]. 
陈扬哲 ;
梁其翔 ;
林振华 ;
刘醇明 ;
曾皇文 ;
邓伊筌 .
中国专利 :CN112744779A ,2021-05-04
[7]
微机电系统及其制造方法 [P]. 
陈扬哲 ;
梁其翔 ;
林振华 ;
刘醇明 ;
曾皇文 ;
邓伊筌 .
中国专利 :CN112744779B ,2024-02-23
[8]
微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法 [P]. 
A·德厄 ;
M·F·赫曼 ;
J·曼兹 .
中国专利 :CN107662900A ,2018-02-06
[9]
微机电系统、用于制造微机电系统的方法 [P]. 
R·舍本 .
中国专利 :CN114074915A ,2022-02-22
[10]
微机电系统换能器和其制造方法 [P]. 
大村昌良 ;
铃木民人 ;
铃木幸俊 .
中国专利 :CN101468785A ,2009-07-01
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