微机电系统及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110216701.9

申请日：

2021-02-26

公开(公告)号：

CN113307222A

公开(公告)日：

2021-08-27

发明(设计)人：

吕文雄郑明达庄咏涵吴凯第刘旭伦李明机

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	公开	公开
2021-09-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20210226

共 50 条

[1]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222B ,2024-05-28

[2]

微机电系统及其制造方法 [P].

陈扬哲 ;

梁其翔 ;

林振华 ;

刘醇明 ;

曾皇文 ;

邓伊筌 .

中国专利 :CN112744779A ,2021-05-04

[3]

微机电系统及其制造方法 [P].

陈扬哲 ;

梁其翔 ;

林振华 ;

刘醇明 ;

曾皇文 ;

邓伊筌 .

中国专利 :CN112744779B ,2024-02-23

[4]

微机电系统和制造方法 [P].

杨挺立 ;

吴凯第 ;

郑明达 ;

吕文雄 ;

林政仁 ;

康金玮 .

中国专利 :CN114988345A ,2022-09-02

[5]

微机电系统和制造方法 [P].

杨挺立 ;

吴凯第 ;

郑明达 ;

吕文雄 ;

林政仁 ;

康金玮 .

中国专利 :CN114988345B ,2025-06-27

[6]

微机电系统及其制造方法 [P].

斋藤友博 .

中国专利 :CN102674235B ,2012-09-19

[7]

微机电系统及其制造方法 [P].

S·莱梅特 .

中国专利 :CN115397767A ,2022-11-25

[8]

微机电系统及其制造方法 [P].

郑钧文 ;

彭荣辉 ;

朱家骅 ;

蔡念宗 ;

黄耀德 ;

洪丽闵 ;

刘育嘉 .

中国专利 :CN106467287A ,2017-03-01

[9]

微机电系统及其制造方法 [P].

裴栒兴 ;

尹皓权 ;

薛庆焕 ;

金德泳 .

中国专利 :CN109305655B ,2019-02-05

[10]

微机电系统及其制造方法 [P].

阿尔方斯·德赫 .

中国专利 :CN103121657B ,2013-05-29

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