微机电系统及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210337866.2

申请日：

2012-09-12

公开(公告)号：

CN103121657B

公开(公告)日：

2013-05-29

发明(设计)人：

阿尔方斯·德赫

申请人：

申请人地址：

德国瑙伊比贝尔格市

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

李静;马强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-29	公开	公开
2016-04-06	授权	授权
2013-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101480524066 IPC(主分类):B81B 3/00 专利申请号:2012103378662 申请日:20120912

共 50 条

[1]

微机电系统及其制造方法 [P].

斋藤友博 .

中国专利 :CN102674235B ,2012-09-19

[2]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222B ,2024-05-28

[3]

微机电系统及其制造方法 [P].

S·莱梅特 .

中国专利 :CN115397767A ,2022-11-25

[4]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222A ,2021-08-27

[5]

微机电系统及其制造方法 [P].

郑钧文 ;

彭荣辉 ;

朱家骅 ;

蔡念宗 ;

黄耀德 ;

洪丽闵 ;

刘育嘉 .

中国专利 :CN106467287A ,2017-03-01

[6]

微机电系统及其制造方法 [P].

裴栒兴 ;

尹皓权 ;

薛庆焕 ;

金德泳 .

中国专利 :CN109305655B ,2019-02-05

[7]

微机电系统及其制造方法 [P].

曾李全 ;

谢元智 .

中国专利 :CN111977610A ,2020-11-24

[8]

微机电系统及其制造方法 [P].

陈扬哲 ;

梁其翔 ;

林振华 ;

刘醇明 ;

曾皇文 ;

邓伊筌 .

中国专利 :CN112744779A ,2021-05-04

[9]

微机电系统及其制造方法 [P].

陈扬哲 ;

梁其翔 ;

林振华 ;

刘醇明 ;

曾皇文 ;

邓伊筌 .

中国专利 :CN112744779B ,2024-02-23

[10]

微机电系统及其制造方法 [P].

邱奕翔 ;

叶力垦 .

中国专利 :CN101428751B ,2009-05-13

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