微机电系统及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910903595.4

申请日：

2019-09-24

公开(公告)号：

CN111977610A

公开(公告)日：

2020-11-24

发明(设计)人：

曾李全谢元智

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

薛恒;王琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-24	公开	公开
2020-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20190924

共 50 条

[1]

微机电系统及其制造方法 [P].

曾李全 ;

谢元智 .

中国专利 :CN111977610B ,2025-01-14

[2]

微机电系统及其制造方法 [P].

郑钧文 ;

彭荣辉 ;

朱家骅 ;

蔡念宗 ;

黄耀德 ;

洪丽闵 ;

刘育嘉 .

中国专利 :CN106467287A ,2017-03-01

[3]

微机电系统（MEMS）及其制造方法 [P].

李宥纁 .

中国专利 :CN120698410A ,2025-09-26

[4]

微机电系统元件及微机电系统元件的制造方法 [P].

稻叶正吾 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN1821050A ,2006-08-23

[5]

微机电系统装置及其制造方法 [P].

吉泽隆彦 .

中国专利 :CN104925737B ,2015-09-23

[6]

微机电系统及其制造方法 [P].

斋藤友博 .

中国专利 :CN102674235B ,2012-09-19

[7]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222B ,2024-05-28

[8]

微机电系统及其制造方法 [P].

S·莱梅特 .

中国专利 :CN115397767A ,2022-11-25

[9]

微机电系统及其制造方法 [P].

吕文雄 ;

郑明达 ;

庄咏涵 ;

吴凯第 ;

刘旭伦 ;

李明机 .

中国专利 :CN113307222A ,2021-08-27

[10]

微机电系统及其制造方法 [P].

裴栒兴 ;

尹皓权 ;

薛庆焕 ;

金德泳 .

中国专利 :CN109305655B ,2019-02-05

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