微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710633525.2

申请日：

2017-07-28

公开(公告)号：

CN107662900A

公开(公告)日：

2018-02-06

发明(设计)人：

A·德厄 M·F·赫曼 J·曼兹

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81B700 B81B702 B81C300

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱;张昊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20170728
2018-02-06	公开	公开
2020-04-03	授权	授权

共 50 条

[1]

微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法 [P].

A.德赫 ;

M.多夫迈斯特 ;

T.格里勒 ;

U.黑德尼希 ;

M.卡尔滕巴赫尔 ;

U.施密德 ;

M.施奈德 .

中国专利 :CN107396276B ,2017-11-24

[2]

微机电设备 [P].

N·博尼 ;

R·卡尔米纳蒂 ;

M·默利 .

中国专利 :CN217148569U ,2022-08-09

[3]

微机电设备 [P].

S·克斯坦蒂尼 ;

M·卡米纳蒂 ;

D·A·L·加蒂 ;

L·M·卡斯托尔迪 ;

R·卡尔米纳蒂 .

中国专利 :CN207390996U ,2018-05-22

[4]

微机电设备 [P].

C·谢林 ;

J·赖因穆特 .

德国专利 :CN119176519A ,2024-12-24

[5]

用于制造组合微机电设备的过程及对应组合微机电设备 [P].

A·格拉 ;

L·科索 ;

F·韦尔切西 ;

A·卢贝托 ;

G·阿勒加托 .

:CN120097275A ,2025-06-06

[6]

灵活振动的微机电设备 [P].

振煌·阿尔贝特·周 .

中国专利 :CN1826532A ,2006-08-30

[7]

光学微机电设备及其制造工艺 [P].

L·塞吉齐 ;

N·博尼 ;

L·奥吉欧尼 ;

R·卡尔米纳蒂 ;

M·卡米纳蒂 .

:CN113003533B ,2025-12-16

[8]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[9]

微机电设备和电子系统 [P].

B·希莫尼 ;

C·瓦尔扎希纳 .

中国专利 :CN203011387U ,2013-06-19

[10]

微机电设备和电子系统 [P].

G·阿里加托 ;

B·西摩尼 ;

C·瓦尔扎西纳 ;

L·科尔索 .

中国专利 :CN203582456U ,2014-05-07

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