用于制造组合微机电设备的过程及对应组合微机电设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411759974.8

申请日：

2024-12-03

公开(公告)号：

CN120097275A

公开(公告)日：

2025-06-06

发明(设计)人：

A·格拉 L·科索 F·韦尔切西 A·卢贝托 G·阿勒加托

申请人：

意法半导体国际公司

申请人地址：

瑞士日内瓦

IPC主分类号：

B81C1/00

IPC分类号：

B81B7/02 G01C19/00 G01C21/16 G01P15/125

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

成城

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-06	公开	公开
2025-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20241203

共 50 条

[1]

微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法 [P].

A.德赫 ;

M.多夫迈斯特 ;

T.格里勒 ;

U.黑德尼希 ;

M.卡尔滕巴赫尔 ;

U.施密德 ;

M.施奈德 .

中国专利 :CN107396276B ,2017-11-24

[2]

微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法 [P].

A·德厄 ;

M·F·赫曼 ;

J·曼兹 .

中国专利 :CN107662900A ,2018-02-06

[3]

微机电设备 [P].

C·谢林 ;

J·赖因穆特 .

德国专利 :CN119176519A ,2024-12-24

[4]

微机电设备 [P].

N·博尼 ;

R·卡尔米纳蒂 ;

M·默利 .

中国专利 :CN217148569U ,2022-08-09

[5]

微机电设备 [P].

S·克斯坦蒂尼 ;

M·卡米纳蒂 ;

D·A·L·加蒂 ;

L·M·卡斯托尔迪 ;

R·卡尔米纳蒂 .

中国专利 :CN207390996U ,2018-05-22

[6]

灵活振动的微机电设备 [P].

振煌·阿尔贝特·周 .

中国专利 :CN1826532A ,2006-08-30

[7]

光学微机电设备及其制造工艺 [P].

L·塞吉齐 ;

N·博尼 ;

L·奥吉欧尼 ;

R·卡尔米纳蒂 ;

M·卡米纳蒂 .

:CN113003533B ,2025-12-16

[8]

用于制造微机电设备的工艺和MEMS设备 [P].

G·阿勒加托 ;

L·科索 ;

I·格尔米 ;

C·瓦尔扎希纳 .

中国专利 :CN113697766A ,2021-11-26

[9]

用于制造微机电设备的工艺和MEMS设备 [P].

G·阿勒加托 ;

L·科索 ;

I·格尔米 ;

C·瓦尔扎希纳 .

:CN113697766B ,2025-07-11

[10]

具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法 [P].

G·阿里加托 ;

B·西摩尼 ;

C·瓦尔扎西纳 ;

L·科尔索 .

中国专利 :CN103513059B ,2014-01-15

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