微机电系统装置测试系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711011146.6

申请日：

2017-10-25

公开(公告)号：

CN108007475A

公开(公告)日：

2018-05-08

发明(设计)人：

菲利普·卡尔西尔维娅·卡尔

申请人：

申请人地址：

美国德克萨斯州

IPC主分类号：

G01C2500

IPC分类号：

G01P2100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

范心田

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 25/00 申请日:20171025
2018-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[2]

微机电系统芯片测试夹具 [P].

王浩波 .

中国专利 :CN305026542S ,2019-02-05

[3]

微机电系统电触点系统和方法 [P].

R·C·古蒂瑞兹 .

中国专利 :CN106163979A ,2016-11-23

[4]

微机电系统器件 [P].

福光政和 ;

安西·布洛姆奎斯特 ;

阿尔蒂·托尔凯利 ;

维莱·卡亚卡里 .

日本专利 :CN117897621A ,2024-04-16

[5]

微机电系统和用于制造微机电系统的方法 [P].

托马斯·里塞奇 ;

法比安·斯托佩尔 .

中国专利 :CN106062914B ,2016-10-26

[6]

用于校准微机电系统的方法和装置 [P].

M·H·M·纳加尔 ;

I·O·维根 .

中国专利 :CN108120552A ,2018-06-05

[7]

微机电系统装置以及制作微机电系统的方法 [P].

谢聪敏 ;

李建兴 ;

蔡振维 .

中国专利 :CN107986225B ,2018-05-04

[8]

微机电系统装置与微机电系统的封装方法 [P].

林宏桦 ;

刘丙寅 ;

吴常明 ;

彭荣辉 ;

喻中一 .

中国专利 :CN109553065A ,2019-04-02

[9]

微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备 [P].

邹泉波 ;

丁凯文 ;

冷群文 ;

周良 ;

张贺存 ;

李刚 ;

周汪洋 .

中国专利 :CN114148987B ,2024-12-20

[10]

微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备 [P].

邹泉波 ;

丁凯文 ;

冷群文 ;

周良 ;

张贺存 ;

李刚 ;

周汪洋 .

中国专利 :CN114148987A ,2022-03-08

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