一种显影方法及显影装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710630338.9

申请日：

2017-07-28

公开(公告)号：

CN107179655A

公开(公告)日：

2017-09-19

发明(设计)人：

吴春晖余世荣孟庆勇

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;刘伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20170728
2017-09-19	公开	公开
2022-07-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/30 申请公布日:20170919

共 50 条

[1]

一种显影方法及显影装置 [P].

冯贺 ;

吴洪江 ;

王耸 ;

杨同华 ;

董明 .

中国专利 :CN104062857A ,2014-09-24

[2]

一种显影装置及显影方法 [P].

贾东坡 ;

魏凡 .

中国专利 :CN107479342A ,2017-12-15

[3]

一种显影装置及显影方法 [P].

常远 .

中国专利 :CN111812951A ,2020-10-23

[4]

一种显影装置及显影方法 [P].

黄常刚 ;

吴洪江 ;

李圭铉 .

中国专利 :CN103324038A ,2013-09-25

[5]

一种显影装置及显影方法 [P].

包路路 ;

李素华 ;

刘海亮 ;

孙京涛 .

中国专利 :CN109976106A ,2019-07-05

[6]

一种显影装置、曝光显影设备及显影方法 [P].

刘宁 ;

闫梁臣 ;

周斌 ;

刘军 ;

程磊磊 ;

李广耀 .

中国专利 :CN108776424B ,2018-11-09

[7]

显影装置及显影方法 [P].

大河内厚 ;

山本太郎 ;

竹口博史 ;

京田秀治 ;

吉原孝介 .

中国专利 :CN1918694A ,2007-02-21

[8]

一种显影装置、显影方法及涂胶显影系统 [P].

袁文旭 ;

黄海超 ;

朱伟骅 ;

刘燕翔 .

中国专利 :CN117501409A ,2024-02-02

[9]

显影装置及显影方法 [P].

田中友耶 ;

山冈英人 .

中国专利 :CN114200791A ,2022-03-18

[10]

显影方法及显影装置 [P].

立山清久 ;

野村雅文 ;

筱木武虎 .

中国专利 :CN1501177A ,2004-06-02

← 1 2 3 4 5 →