共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
深沟槽隔离的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810947318.9
申请日：
2018-08-20
公开(公告)号：
CN109166817A
公开(公告)日：
2019-01-08
发明(设计)人：
李娜
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L21762
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-15 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/762 申请公布日:20190108 |
| 2019-02-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20180820 |