基板液处理装置和基板液处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510672501.9

申请日：

2015-10-16

公开(公告)号：

CN105529288B

公开(公告)日：

2016-04-27

发明(设计)人：

中森光则北野淳一南辉臣

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-27	公开	公开
2020-07-14	授权	授权
2017-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101719977180 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015106725019 申请日:20151016

共 50 条

[1]

基板液处理方法和基板液处理装置 [P].

小佐井一树 ;

大塚贵久 ;

篠原和義 ;

铃木启之 ;

八谷洋介 ;

东博之 .

中国专利 :CN107591345A ,2018-01-16

[2]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

小原隆宪 .

日本专利 :CN117461118A ,2024-01-26

[3]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

井户泰幸 ;

新藤尚树 ;

折居武彦 ;

江头佳祐 ;

八谷洋介 ;

大石幸太郎 ;

河野央 ;

下村伸一郎 .

中国专利 :CN105023863B ,2015-11-04

[4]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

高木康弘 ;

小宫洋司 ;

信国力 ;

佐竹圭吾 ;

穴本笃史 .

中国专利 :CN104637841B ,2015-05-20

[5]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

高木康弘 ;

小宫洋司 ;

信国力 ;

佐竹圭吾 ;

穴本笃史 .

中国专利 :CN110197803A ,2019-09-03

[6]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

野中纯 .

中国专利 :CN106449470B ,2017-02-22

[7]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

稻富裕一郎 ;

江崎智规 .

中国专利 :CN113227453A ,2021-08-06

[8]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

田中幸二 ;

盐川俊行 ;

益富裕之 ;

佐藤尊三 ;

田中裕司 ;

稻田尊士 ;

平山司 .

中国专利 :CN107017160B ,2017-08-04

[9]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

上村史洋 ;

原大海 .

中国专利 :CN105742207A ,2016-07-06

[10]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

稻富裕一郎 ;

江崎智规 .

日本专利 :CN113227453B ,2024-04-16

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