基板液处理装置和基板液处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910418261.8

申请日：

2014-11-13

公开(公告)号：

CN110197803A

公开(公告)日：

2019-09-03

发明(设计)人：

高木康弘小宫洋司信国力佐竹圭吾穴本笃史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

G05D1113

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141113
2019-09-03	公开	公开

共 50 条

[1]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

高木康弘 ;

小宫洋司 ;

信国力 ;

佐竹圭吾 ;

穴本笃史 .

中国专利 :CN104637841B ,2015-05-20

[2]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

小原隆宪 .

日本专利 :CN117461118A ,2024-01-26

[3]

基板液处理方法和基板液处理装置 [P].

小佐井一树 ;

大塚贵久 ;

篠原和義 ;

铃木启之 ;

八谷洋介 ;

东博之 .

中国专利 :CN107591345A ,2018-01-16

[4]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

野中纯 .

中国专利 :CN106449470B ,2017-02-22

[5]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

田中幸二 ;

盐川俊行 ;

益富裕之 ;

佐藤尊三 ;

田中裕司 ;

稻田尊士 ;

平山司 .

中国专利 :CN107017160B ,2017-08-04

[6]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

上村史洋 ;

原大海 .

中国专利 :CN105742207A ,2016-07-06

[7]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

百武宏展 .

中国专利 :CN108155115A ,2018-06-12

[8]

基板液处理装置、基板液处理方法以及基板处理装置 [P].

张健 ;

天野嘉文 ;

冈本英一郎 ;

伊藤优树 .

中国专利 :CN105845603B ,2016-08-10

[9]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

井户泰幸 ;

新藤尚树 ;

折居武彦 ;

江头佳祐 ;

八谷洋介 ;

大石幸太郎 ;

河野央 ;

下村伸一郎 .

中国专利 :CN105023863B ,2015-11-04

[10]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

中森光则 ;

北野淳一 ;

南辉臣 .

中国专利 :CN105529288B ,2016-04-27

← 1 2 3 4 5 →