感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件及半导体器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580052929.1

申请日：

2015-09-18

公开(公告)号：

CN107077070A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

谷垣勇刚藤原健典

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7075

IPC分类号：

C08K336 C08K528 C08L8306 G03F7004 G03F7023 G03F709 G03F740 H01L21027 H01L213065

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军;李国卿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2020-06-16	授权	授权
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747169719 IPC(主分类):G03F 7/075 专利申请号:2015800529291 申请日:20150918

共 50 条

[1]

感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

小山一郎 .

中国专利 :CN106133602A ,2016-11-16

[2]

感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、图案固化膜及半导体元件 [P].

青木优 ;

滨野芳美 ;

铃木辉昭 ;

桥本政弘 .

中国专利 :CN115398339A ,2022-11-25

[3]

感光性树脂组合物，树脂固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

有本由香里 ;

增田有希 ;

奥田良治 .

中国专利 :CN107407869A ,2017-11-28

[4]

感光性树脂组合物、树脂、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

川端健志 ;

吉田健太 ;

岩井悠 .

中国专利 :CN111630454A ,2020-09-04

[5]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 .

中国专利 :CN112513219A ,2021-03-16

[6]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 ;

福原敏明 .

日本专利 :CN112639616B ,2024-09-13

[7]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

福原敏明 ;

井上遥菜 ;

吉田健太 .

中国专利 :CN111936930A ,2020-11-13

[8]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 ;

福原敏明 .

中国专利 :CN112639616A ,2021-04-09

[9]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

福原庆 ;

岩井悠 .

中国专利 :CN110462514A ,2019-11-15

[10]

树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜和图案固化膜的制造方法 [P].

杉田丰 ;

片村友大 ;

中辻惇也 ;

山中一广 ;

增渕毅 .

中国专利 :CN113166548A ,2021-07-23

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