感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580016802.4

申请日：

2015-03-24

公开(公告)号：

CN106133602A

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

岩井悠小山一郎

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7029

IPC分类号：

G03F7004 G03F7027 G03F7031 G03F7037

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

葛凡

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-16	公开	公开
2019-10-08	授权	授权
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691388959 IPC(主分类):G03F 7/029 专利申请号:2015800168024 申请日:20150324

共 50 条

[1]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

福原敏明 ;

井上遥菜 ;

吉田健太 .

中国专利 :CN111936930A ,2020-11-13

[2]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 .

中国专利 :CN112513219A ,2021-03-16

[3]

感光性树脂组合物、树脂、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

川端健志 ;

吉田健太 ;

岩井悠 .

中国专利 :CN111630454A ,2020-09-04

[4]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 ;

福原敏明 .

日本专利 :CN112639616B ,2024-09-13

[5]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

岩井悠 ;

吉田健太 ;

福原敏明 .

中国专利 :CN112639616A ,2021-04-09

[6]

感光性树脂组合物、聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

川端健志 ;

吉田健太 ;

岩井悠 ;

涩谷明规 .

中国专利 :CN110692018A ,2020-01-14

[7]

感光性树脂组合物，树脂固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

有本由香里 ;

增田有希 ;

奥田良治 .

中国专利 :CN107407869A ,2017-11-28

[8]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

福原庆 ;

岩井悠 .

中国专利 :CN110462514A ,2019-11-15

[9]

感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件及半导体器件的制造方法 [P].

谷垣勇刚 ;

藤原健典 .

中国专利 :CN107077070A ,2017-08-18

[10]

树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜和图案固化膜的制造方法 [P].

杉田丰 ;

片村友大 ;

中辻惇也 ;

山中一广 ;

增渕毅 .

中国专利 :CN113166548A ,2021-07-23

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