一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611231351.9

申请日：

2016-12-28

公开(公告)号：

CN108250972B

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

蔡鑫元姚颖荆建芬潘依君杜玲曦宋凯张建杨俊雅王雨春

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306 C23F304

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;沈汶波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20161228
2018-07-06	公开	公开
2021-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

邱腾飞 ;

宋凯 .

中国专利 :CN106928858A ,2017-07-07

[2]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

潘依君 ;

荆建芬 ;

杜玲曦 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

王春梅 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250973A ,2018-07-06

[3]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN107686702A ,2018-02-13

[4]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杜玲曦 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250977B ,2018-07-06

[5]

一种阻挡层化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 .

中国专利 :CN101463225A ,2009-06-24

[6]

一种用于钴阻挡层抛光的化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

邱腾飞 .

中国专利 :CN104745085A ,2015-07-01

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[8]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法 [P].

荆建芬 ;

姚颖 ;

邱腾飞 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN104745086A ,2015-07-01

[9]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

邱腾飞 ;

蔡鑫元 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN104745089A ,2015-07-01

[10]

一种碱性的阻挡层化学机械抛光液 [P].

何华锋 ;

王晨 ;

李星 .

中国专利 :CN106928861A ,2017-07-07

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