一种化学气相沉积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620731780.1

申请日：

2016-07-11

公开(公告)号：

CN205821450U

公开(公告)日：

2016-12-21

发明(设计)人：

靳恺方聪刘向平冯钊俊张露王雷

申请人：

申请人地址：

528437 广东省中山市火炬开发区火炬路22号之二第3-4层

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

梁莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积系统 [P].

南琦 ;

刘瑞 ;

邓敏 .

中国专利 :CN209162187U ,2019-07-26

[2]

化学气相沉积系统 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

余明 .

中国专利 :CN210104068U ,2020-02-21

[3]

一种化学气相沉积系统 [P].

郭国平 ;

杨晖 ;

李海欧 ;

曹刚 ;

肖明 ;

郭光灿 .

中国专利 :CN206607312U ,2017-11-03

[4]

一种化学气相沉积系统 [P].

张明福 ;

徐平 ;

卞楷周 .

中国专利 :CN204455284U ,2015-07-08

[5]

一种化学气相沉积系统 [P].

廖雅婷 .

中国专利 :CN221371354U ,2024-07-19

[6]

一种化学气相沉积系统 [P].

陈志军 ;

曹卫 ;

康志卫 ;

王伟 .

中国专利 :CN216320950U ,2022-04-19

[7]

一种化学气相沉积系统 [P].

张建飞 ;

何思进 ;

盛兆亚 ;

吴兴华 .

中国专利 :CN215947403U ,2022-03-04

[8]

化学气相沉积炉、系统及用于化学气相沉积的装炉结构 [P].

姚宏 ;

黄志鹏 ;

赵领航 ;

杜路路 ;

段滨 .

中国专利 :CN217127529U ,2022-08-05

[9]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

[10]

化学气相沉积装置及化学气相沉积系统 [P].

杨耀辉 ;

胡文华 ;

梅治民 ;

王维维 ;

俞方旭 ;

席洪峰 ;

罗治湘 .

中国专利 :CN118086872A ,2024-05-28

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