蚀刻液及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111276160.5

申请日：

2021-10-29

公开(公告)号：

CN113957441A

公开(公告)日：

2022-01-21

发明(设计)人：

周志强袁明军李治文杜小林胡秋雨刘彬云

申请人：

申请人地址：

511400 广东省广州市番禺区石楼镇创启路63号创启7号楼

IPC主分类号：

C23F126

IPC分类号：

H01L213213 H01L21768

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

黎金娣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-21	公开	公开
2022-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/26 申请日:20211029

共 50 条

[1]

蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

李治文 ;

杜小林 ;

胡秋雨 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN113957441B ,2024-01-02

[2]

铝钼蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

聂航 ;

章学春 ;

李玉兴 ;

刘明辉 ;

朱旺 .

中国专利 :CN119491226A ,2025-02-21

[3]

蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

胡秋雨 ;

袁明军 ;

李治文 ;

钟上彪 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN114752939A ,2022-07-15

[4]

蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

胡秋雨 ;

袁明军 ;

李治文 ;

钟上彪 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN114752939B ,2024-07-16

[5]

陶瓷蚀刻液及其制备方法和应用、蚀刻陶瓷 [P].

陈琳 ;

高源 .

中国专利 :CN120624022A ,2025-09-12

[6]

铜蚀刻液及其制备方法和应用、铜蚀刻方法 [P].

董艳 ;

王逸群 ;

王洋洋 ;

冯海通 .

中国专利 :CN105624679A ,2016-06-01

[7]

银蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

刘明辉 ;

聂航 ;

姜欣奕 ;

衡京 .

中国专利 :CN120350379A ,2025-07-22

[8]

一种蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

颜光明 ;

雷霆 ;

詹振翔 ;

吕依芮 .

中国专利 :CN112430815A ,2021-03-02

[9]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[10]

一种蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

金炳生 ;

刘耀鹏 ;

高小云 ;

刘兵 .

中国专利 :CN113773840B ,2021-12-10

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