铝钼蚀刻液及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411696455.1

申请日：

2024-11-25

公开(公告)号：

CN119491226A

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

张伟明聂航章学春李玉兴刘明辉朱旺

申请人：

上海盛剑微电子有限公司

申请人地址：

201400 上海市奉贤区舜工路38号24幢

IPC主分类号：

C23F1/20

IPC分类号：

C23F1/26

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

范元树

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	公开	公开
2025-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/20申请日:20241125

共 50 条

[1]

一种铝/钼和钼/铝/钼蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

王博 ;

夏姣 ;

罗丽 ;

陈浩 ;

侯倩 ;

叶帅 ;

桂丹丹 .

中国专利 :CN119352026A ,2025-01-24

[2]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[3]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118835247A ,2024-10-25

[4]

蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

李治文 ;

杜小林 ;

胡秋雨 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN113957441B ,2024-01-02

[5]

蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

李治文 ;

杜小林 ;

胡秋雨 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN113957441A ,2022-01-21

[6]

铜钼蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN120519863A ,2025-08-22

[7]

一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

刘伟 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

张茂 ;

邱柱 ;

方磊 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112663064A ,2021-04-16

[8]

酸性钼铝钼蚀刻液制备系统 [P].

沈翠芬 ;

戈士勇 ;

盛建伟 .

中国专利 :CN202519335U ,2012-11-07

[9]

一种铝蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

高楒羽 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

罗海燕 ;

刘春丽 ;

张庭 ;

钟昌东 ;

黄锣锣 ;

张演哲 ;

郑秋瞳 ;

张宗萍 ;

张玥 ;

雷康乐 .

中国专利 :CN119592954A ,2025-03-11

[10]

一种铝钼蚀刻液及其制备方法 [P].

殷福华 ;

季文庆 ;

朱龙 ;

邵勇 ;

栾成 .

中国专利 :CN102534619A ,2012-07-04

← 1 2 3 4 5 →