一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011490580.9

申请日：

2020-12-16

公开(公告)号：

CN112663064A

公开(公告)日：

2021-04-16

发明(设计)人：

刘伟杜冰刘文永张茂邱柱方磊赵建龙张兵向文胜朱坤陆兰

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 H01L213213

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	公开	公开
2021-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201216

共 50 条

[1]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[2]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[3]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[4]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

[5]

蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN113106454A ,2021-07-13

[6]

一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

顾群艳 ;

梁豹 ;

杜冰 ;

邱柱 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 .

中国专利 :CN112981405B ,2021-06-18

[7]

铜钼蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN120519863A ,2025-08-22

[8]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118835247A ,2024-10-25

[9]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[10]

一种铜钼金属膜蚀刻液及其应用方法和显示面板 [P].

王维 ;

潘春林 ;

李自杰 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN114411151B ,2024-10-11

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