铜钼金属蚀刻液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110897234.0

申请日：

2021-08-05

公开(公告)号：

CN113667979A

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

郭前程

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 C23F102

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

王朝云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	公开	公开
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20210805

共 50 条

[1]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

[2]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[3]

一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

刘伟 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

张茂 ;

邱柱 ;

方磊 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112663064A ,2021-04-16

[4]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[5]

蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN113106454A ,2021-07-13

[6]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[7]

用于蚀刻由铜层及钼层构成的金属层的蚀刻液及其应用 [P].

王毅明 ;

邵振 .

中国专利 :CN110219003B ,2019-09-10

[8]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[9]

蚀刻钼/铜/钼或钼合金/铜/钼合金三层金属配线结构的蚀刻液组合物及其应用 [P].

刘净 .

中国专利 :CN112080747A ,2020-12-15

[10]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

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